Visão geral

Fábricas de fabricação de semicondutores, centros de nanotecnologia, nanofábricas e outros centros de fabricação e pesquisa de precisão geralmente combinam salas limpas com sistemas de terra ativos falsos para atender aos requisitos complexos de instalações (tubos, cabos, gasodutos, etc.) e manter padrões de limpeza rigorosos. Este solo não é adequado para equipamentos de produção, teste e medição sensíveis às vibrações. O solo ativo não é capaz de fornecer o ambiente vibratório silencioso necessário para essas ferramentas. A ilha tranquila da TMC substitui parte da área de terra ativa por uma "ilha tranquila" fixa no subsolo inferior, oferecendo uma solução inovadora. A Quiet Island inclui um topo da plataforma compatível com a sala limpa e uma estrutura de suporte específica para aplicações e locais.

Desvibração

Os principais componentes de suporte e as principais tecnologias da Quiet Island** estão integrados no sistema de desvibração ativa STACIS III. Este sistema de suporte inercial "rígido" é ideal para qualquer instrumento sensível à vibração, permitindo que tais ferramentas funcionem com altos padrões em ambientes ruidosos. O STACIS III é compatível com ferramentas de usinagem de wafers automatizadas, ferramentas de imagem de feixe de eletrônicos de alta resolução, ferramentas de fresamento de feixe de íons e qualquer ferramenta com um sistema de isolamento interno passivo ou ativo (consulte nosso white paper sobre empilhamento de isoladores ativos em isoladores ativos). Além disso, oferece desempenho de isolamento de vibração em uma ampla faixa de frequências. E o design de "instalação rígida" é muito rígido, portanto, não há problemas de estabilidade para ferramentas mais altas e leves.

Tubos e suportes

Os tubos extremamente robustos e duráveis para suportar os isoladores STACIS foram projetados pela equipa de engenharia experiente da TMC e fabricados em nossa fábrica ISO 9001 de acordo com os altos padrões e especificações certificadas de soldagem. Cada ilha tranquila foi cuidadosamente projetada para uma variedade de alturas de terreno, geometrias de fundo e tamanhos de ferramentas. Com milhares de instalações instaladas em todo o mundo para suportar mais de 200 modelos diferentes de instrumentos, a TMC possui conhecimento e experiência para projetar estruturas de suporte que atendam às necessidades da STACIS e das suas instalações.

Plataforma rígida

A plataforma é composta por uma placa de aço de 4 polegadas (100 mm) de espessura, projetada e fabricada pela TMC, em que a placa de aço é fixada em torno de um material de núcleo leve, não comprimível e amortiguado. O efeito estratificado de adesão de placas de aço rígido e núcleos com resina epóxida a um disco de aço inoxidável sem costura fornece uma rigidez extremamente alta e amortiguação estrutural. A grande seção transversal e o conteúdo de aço produzem uma rigidez geral muito alta. A parte superior e lateral são uma caixa de aço inoxidável integrada contínua para manter a limpeza, a beleza e a integridade. A TMC pode projetar e fabricar plataformas específicas da aplicação conforme necessário, incluindo cortes, formas especiais, furos fixos e parafusos de anel suspenso.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Vantagens da ilha tranquila

É compatível com as ferramentas de isolamento com a tecnologia de desvibração piezoelétrica ativa da indústria STACIS-TMC**, design de "montagem rígida" e isolamento vibratório a partir de 0,6 Hz.

Flexibilidade para modularidade, personalização e reposicionamento – cada plataforma é adaptada à aplicação do cliente, mas, ao contrário das plataformas de concreto, elas podem ser facilmente reconfiguradas se as características da ferramenta ou do solo mudarem.

Conhecimento - A TMC tem ampla experiência em colaboração com fabricantes de semicondutores, instituições de pesquisa científica e OEMs de alta precisão. Conhecemos os clientes e suas necessidades. Nós mesmos projetamos e fabricamos.

Desempenho

Em 24 polegadas de altura, 40 polegadas x 60 polegadas em 4 suportes STACIS,
Medição da taxa de transmissão sob a entrada VC-C do solo

Especificações

Especificações de desempenho

Requisitos de design, tamanho, ambiente e utilidade do isolador

Especificações do controlador DC-2020

Outros parâmetros

OutrosConfiguração de Quiet Island

Instrumentos grandes sem especificações de vibração ambiental geralmente exigem um suporte rígido e estável separado do solo ativo. Rigid Quiet Island é a solução ideal. O rígido Quiet Island possui o mesmo topo de plataforma de alto desempenho e também pode ser projetado para qualquer altura, qualquer geometria do chão e uma variedade de tamanhos de ferramentas. A TMC oferece uma gama de diferentes tipos de pilares para atender a uma variedade de necessidades, resultando em soluções modulares e flexíveis para reposicionamento e atualização específicas para instrumentos e fábricas.

Aplicar fotos

Como instalado em nossa quiet island ® A complexidade, a sensibilidade e o valor dos equipamentos na plataforma subterrânea não criamos um catálogo padrão para encomendasNão.

Acreditamos que cada plataforma deve ser projetada para aplicações específicas. Os passos de encomenda recomendados são os seguintes:

▪ Diga-nos qual dispositivo ou instrumento você deseja isolar. Como já instalamos milhares de dispositivos, provavelmente já temos uma plataforma projetada para atender às necessidades do seu aplicativo. Além disso, temos estreitos laços com os fabricantes de passos, alinhadores, SEM e outras ferramentas, por isso conhecemos as novas especificações de tamanho, forma, mudança de peso e vibração do solo.

▪ Ou, você pode querer uma plataforma adequada para sistemas de grade de terra ativos. Os clientes geralmente escolhem plataformas de 47 x 47 polegadas (1.190 x 1.190 mm) para substituir blocos pares de piso.

▪ Diga-nos a altura do seu solo de atividade acima do solo sólido.

▪ Por favor, descreva-nos ou forneça uma ilustração que mostre qualquer padrão de buraco em sua geometria de fundo ou viga de aço / grelha.

▪ Por favor, forneça-nos dados de vibração do solo ou discuta conosco como agendar a medição desses dados.

▪ Considere a sensibilidade à vibração do instrumento. Nosso design de pilar rígido e não ressonante oferece suporte suficiente para muitas ferramentas. Aplicações mais sensíveis exigirão suporte a ar ou piezoelétrico