Catálise a baixa temperatura - sistema de purificação de desnitrogênio a alta temperatura

Este sistema de purificação usa um catalisador patenteado caseiro, este catalisador tem uma longa vida útil, uma alta profundidade de purificação e uma forte capacidade de flutuação instantânea do gás antigo; Adotando o processo de adsorção física e reação química, primeiro a temperatura ambiente para remover uma grande quantidade de impurezas H2O, O2, CO, CO2 em gás inerte e hidrogênio (H2), em seguida, através da torre de aspiração de alta temperatura para remover as impurezas residuais e N2, para que as impurezas de gás puro de exportação sejam divididas abaixo de 1ppb. Este dispositivo tem uma longa vida útil, operação simples e outras características.

Desempenho do produto

É adequado para uso com gás bruto de pureza não inferior a 99,999%.

◎ Este produto é de estrutura dupla, um grupo de trabalho, outro grupo de regeneração de reposição

Profundidade de purificação elevada, exportação de vários conteúdos de impurezas <1ppb

Polimento eletroquímico de aço inoxidável 316 (L)

Filtro de alta eficiência de 0,003 microns incorporado

Este purificador é configurado com uma torre de pré-purificação para remover uma grande quantidade de impurezas antes da torre de absorção de ar de consumo valioso, o que prolonga a vida útil do absorvente de ar de consumo valioso

Aplicações do produto

◎ Purificação de terminais de gás industriais eletrônicos como silício monocristalino de alta pureza, expansão de chips, circuitos integrados em massa e produção de produtos fotoelétricos

Equipamento de processo de semicondutores: CVD, MOCVD, HVPE, forno de difusão, etc.

* Purificação de gás em massa

Parâmetros do sistema